扫描电镜系统
浏览:481  发布人:管理员  2020-03-15

 

气氛保护型扫描电镜系统

 

 

一、仪器简介
气氛保护型扫描电镜系统是在日立高配钨灯丝扫描电子显微镜的基础上创造性地加装真空转移装置,从而实现这套装置不仅可以观察常规导电性样品(金属材料,半导体材料等),还能利用其配置的低真空功能对导电性差或不导电样品(高分子材料,化学材料等)进行不喷金直接形貌高分辨观察,而且关键是,还可以利用其真空转移装置实现易氧化样品(锂金属、碳复合材料等)从手套箱到扫描电子显微镜内形貌观察的整个过程都在隔绝空气的环境中进行。
 
二、主要性能参数
1. 二次电子分辨率:3.0nm @ 30KV,WD=5mm;
                15.0nm @ 1KV,WD=5mm
2. 背散射电子分辨率:4.0nm @ 30KV,WD=5mm
3. 放大倍数: 5-300,000x(底片倍率),7-800,000x(显示倍率)
4. 探测器:二次电子探测器,5分割背散射电子探测器(带过滤器,具有成分、阴影、凹凸多种成像模式)
5. 可放入的最大样品尺寸:直径≥200mm,高度≥80mm(工作距离为10mm)
6. 通过预抽室交换样品,可以高效率在1.5分钟内即可完成换样和开始工作。
7. 配置真空转移盒,可以实现易氧化样品从手套箱到扫描电镜内观察的过程都在隔绝空气中进行。且此真空转移盒可以与配置有真空转移盒的原子力显微镜(AFM),离子研磨仪和聚焦离子束(FIB)实现联用,实现易氧化样品在多台设备之间联用检测可以在完全隔绝空气中进行。
8. 标配低真空功能,低真空真空度:6-650Pa。
9. 自动调整功能:自动亮度对比度,自动对焦,自动消像散,自动灯丝饱和,自动电子束对中,自动束流对中,自动束流亮度,自动开启。
 
 
 
三、真空转移盒配置
  • 易氧化材料的保护观察
 
 
 
四、仪器功能
  •  粉体材料,块体材料以及易氧化材料的表面纳微结构的高分表观察。

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